近日，省计量院电子所赴合肥工业大学开展纳米集成电路边缘缺陷测试分析仪现场计量工作，服务集成电路领域国家重大科研仪器研制项目。

该仪器面向5—22 nm FinFET工艺，旨在实现精确参数提取与可靠性测试，为芯片设计及测试提供支持。电子所结合仪器功能特点和测量需求，围绕仪器关键测量参数及性能指标开展现场计量，为仪器性能评价和测量结果准确可靠性提供保障，为科研仪器研制及后续应用奠定基础。

此次服务充分发挥省计量院在精密测量、量值溯源和科技创新中的技术优势，助力科研仪器创新和我省集成电路产业高质量发展。